特許

J-GLOBAL ID：200903048736370210

Ba1-xSrxTiyO3薄膜形成用組成物、Ba1-xSrxTiyO3薄膜の形成方法及び薄膜コンデンサの製造方法

発明者： 遠藤 恵子 ,  米澤 政 ,  小木 勝実
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-059326
公開番号（公開出願番号）：特開平9-052713
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：

【要約】【課題】 Ba1-x Srx Tiy O3 薄膜形成用組成物において、低温、短時間の仮焼で重ね塗り可能とし、また、低温焼成にて薄膜形成可能とする。【解決手段】 Ba原料、Sr原料として、Cn H2n+1COOH(ただし、3≦n≦7)で表されるカルボン酸の金属塩であって、かつ、下記構造をとり得るカルボン酸塩の溶液よりなる組成物。それを用いた低温焼成による誘電体薄膜の製造方法。この誘電体薄膜を形成する薄膜コンデンサの製造方法。【化4】(上記式中、R1 ,R2 ,R3 ,R4 ,R5 ,R6 は水素、メチル基又はエチル基を示し、MはBa又はSrを示す。)

請求項（抜粋）：

有機バリウム化合物、有機ストロンチウム化合物及びチタンアルコキシドを、モル比がBa:Sr:Ti=1-x:x:y(ただし、0≦x≦1,0.9≦y≦1.1)となるように有機溶媒中に溶解してなるBa1-x Srx Tiy O3 薄膜形成用組成物において、該有機バリウム化合物及び有機ストロンチウム化合物が、一般式Cn H2n+1COOH(ただし、3≦n≦7)で表されるカルボン酸の金属塩であって、かつ、下記一般式[I]の構造をとり得るカルボン酸塩であることを特徴とするBa1-x Srx Tiy O3 薄膜形成用組成物。【化1】(上記式中、R1 ,R2 ,R3 ,R4 ,R5 ,R6 は水素、メチル基又はエチル基を示し、MはBa又はSrを示す。)

IPC (3件)：

C01G 23/00 ,  C04B 35/46 ,  H01G 4/33

FI (3件)：

C01G 23/00 C ,  C04B 35/46 C ,  H01G 4/06 102