特許

J-GLOBAL ID：200903048744931531

3次元形状測定方法

発明者： ミン・ユン・キム ,  ヘ・テ・キム ,  ビュン・ミン・ヨ ,  セ・ヒュン・ハン ,  スン・ジュン・リー
出願人/特許権者： コー・ヤング・テクノロジー・インコーポレーテッド
代理人 (12件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  白根 俊郎 ,  村松 貞男 ,  野河 信久 ,  砂川 克 ,  橋本 良郎 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-016348
公開番号（公開出願番号）：特開2007-199070
出願日： 2007年01月26日
公開日（公表日）： 2007年08月09日
要約：

【課題】検査対象物がノーマル検査モードではない場合、ベアボード情報を検索し、ベアボード情報がない供給業体で供給されたボードである場合、ベアボード学習を通じてボードのターゲット対象物の3次元形状を測定する方法に関する。 【解決手段】第1照明源の明るさを測定する段階と、位相を高さに変換したファクターを測定する段階と、ノーマル検査モードによるボードの3次元形状を測定する段階と、ベアボード情報がない場合にベアボード学習を実施する段階と、ベアボード情報があるか又はベアボード学習情報が発生されると学習検査モードによるボードのターゲット対象物の3次元形状を測定する段階と、3次元形状情報を用いてボードが正常か否かを分析する段階と、から構成され、ボードのターゲット対象物の3次元形状測定作業をより容易に実施することができる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

中央制御部でモジュール制御部と映像獲得部を制御して第1照明源の明るさを測定する段階と、 前記第1照明源の明るさ測定が完了されると中央制御部でモジュール制御部と映像獲得部を制御して位相を高さに変換したファクターを測定する段階と、 前記第1照明源の明るさと前記位相を高さに変換したファクターが測定されると中央制御部で測定作業がノーマル検査モードであるかを確認する段階と、 前記ノーマル検査モードであるかを確認する段階でノーマル検査モードで確認されると中央制御部でモジュール制御部と映像獲得部を制御してノーマル検査モードによるボードのターゲット対象物の3次元形状を測定する段階と、 前記ノーマル検査モードであるかを確認する段階でノーマル検査モードではないものと確認されると中央制御部でDBを検索してボードに対するベアボード情報の有無を確認する段階と、 前記ベアボード情報の有無を確認する段階でベアボード情報がない場合に中央制御部でモジュール制御部と映像獲得部を制御してベアボード学習を実施する段階と、 前記ベアボード情報の有無を確認する段階でベアボード情報があるか又は前記ベアボード学習を実施する段階でベアボード学習情報が発生されると中央制御部でモジュール制御部と映像獲得部を制御して学習検査モードによるボードの3次元形状を測定する段階と、 前記ノーマル検査モードによるボードの3次元形状を測定する段階と前記学習検査モードによるボードのターゲット対象物の3次元形状を測定する段階でそれぞれボードのターゲット対象物の3次元形状が測定されると中央制御部は測定された3次元形状情報を用いてボードが正常か否かを分析する段階と、で具備されることを特徴とする3次元形状測定方法。

IPC (1件)：

G01B 11/25

FI (1件)：

G01B11/25 H

Fターム (23件)：

2F065AA17 ,  2F065AA24 ,  2F065AA53 ,  2F065CC26 ,  2F065FF07 ,  2F065FF44 ,  2F065GG00 ,  2F065HH06 ,  2F065HH07 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL41 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065RR03 ,  2F065TT03