特許

J-GLOBAL ID：200903048746771450

ガス分析装置、ガスレーザの診断装置及び診断方法

発明者： 渡部 武人 ,  小西 正之 ,  内野 郁夫 ,  江川 圭司 ,  住谷 明 ,  鈴木 夏志
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-053851
公開番号（公開出願番号）：特開2001-242077
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：

【要約】【課題】 レーザチャンバ内のレーザ媒質ガスをサンプリングすることなく、該レーザ媒質ガス中の不純物ガスを分析できるようにすること。【解決手段】2つのウインドウ110、120は、レーザ発振用に用いられる2つのウインドウ13、14とは別途に、FTIR200によってガス分析を行うために設けられている。FTIR200は、赤外光の吸収スペクトルを測定するものであり、ウインドウ120側に配置される投光系としての光源210と、ウインドウ110側に配置される受光系としての検出器220と、光源210から出射された赤外光を受光した検出器220からの検出信号を受信し、この検出信号を基にデータ処理(赤外光の吸収スペクトル分布の算出)や制御を行う分析器コントローラ230とから構成されている。

請求項（抜粋）：

ガスレーザ装置に設けられたレーザチャンバに封入されているレーザ媒質ガス中の不純物ガスを分析するガス分析装置において、所望の光路長が形成されるべく所定の距離をもって前記レーザチャンバに設けられ、光を透過させるガス分析用の少なくとも2つのウインドウと、前記レーザチャンバに設けられた前記2つのウインドウを介して光の吸収スペクトルを測定するフーリエ変換赤外分光光度計とを具備し、前記フーリエ変換赤外分光光度計による光の吸収スペクトルの測定結果をガスの分析結果とすることを特徴とするガス分析装置。

IPC (4件)：

G01N 21/35 ,  G01N 21/27 ,  G01N 21/33 ,  H01S 3/00

FI (4件)：

G01N 21/35 Z ,  G01N 21/27 Z ,  G01N 21/33 ,  H01S 3/00 G

Fターム (24件)：

2G059AA01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB01 ,  2G059CC09 ,  2G059CC12 ,  2G059CC13 ,  2G059CC20 ,  2G059EE01 ,  2G059EE12 ,  2G059FF06 ,  2G059GG00 ,  2G059HH01 ,  2G059HH02 ,  2G059HH03 ,  2G059KK01 ,  2G059KK10 ,  2G059LL03 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM10 ,  5F072AA06 ,  5F072HH02 ,  5F072JJ09 ,  5F072YY20