特許

J-GLOBAL ID：200903048753151999

炭化ケイ素焼結体及び電極

発明者： 小高 文雄 ,  高橋 佳智
出願人/特許権者： 株式会社ブリヂストン
代理人 (1件)： 中島 淳 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-315544
公開番号（公開出願番号）：特開2002-128566
出願日： 2000年10月16日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】 高密度、高純度で、適度の体積抵抗率を有する炭化ケイ素焼結体及び電極の提供。【解決手段】 周期律表における1族から16族元素に属し、原子番号3以上の元素(但し、原子番号5〜8及び同14の元素を除く)の総含有量が、10ppm以下であり、かつ、体積抵抗率が100〜103Ω・cmであることを特徴とする炭化ケイ素焼結体である。ボロン化合物を、ボロン換算で100〜1000ppm配合して得た態様、密度が2.9g/cm3以上である態様、電極として用いられる態様等が好ましい。また周期律表における1族から16族元素に属し、原子番号3以上の元素(但し、原子番号5〜8及び同14の元素を除く)の総含有量が、10ppm以下であり、かつ、体積抵抗率が100〜103Ω・cmの炭化ケイ素焼結体からなることを特徴とする電極である。

請求項（抜粋）：

周期律表における1族から16族元素に属し、原子番号3以上の元素(但し、原子番号5〜8及び同14の元素を除く)の総含有量が、10ppm以下であり、かつ、体積抵抗率が100〜103Ω・cmであることを特徴とする炭化ケイ素焼結体。

IPC (2件)：

C04B 35/565 ,  H01L 21/3065

FI (2件)：

C04B 35/56 101 D ,  H01L 21/302 C

Fターム (16件)：

4G001BA02 ,  4G001BA22 ,  4G001BA71 ,  4G001BA78 ,  4G001BB02 ,  4G001BB22 ,  4G001BB71 ,  4G001BC42 ,  4G001BC54 ,  4G001BC57 ,  4G001BE33 ,  5F004AA15 ,  5F004BA04 ,  5F004BB32 ,  5F004DA01 ,  5F004DB01