特許
J-GLOBAL ID：200903048754739345
位置調整用測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-107536
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294606
出願日： 1993年04月09日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：
【要約】【目的】 装置等を構成する部品あるいは機構などの物体同士の高精度な相対的位置決め作業につき、その容易化及び迅速化並びに更なる高精度化に寄与すると共に、測定不良等を生ずることなく確実に測定を遂行することが出来る位置調整用測定装置を提供すること。【構成】 測定の基準となるべき物体108に倣い係合する倣い部材23を具備した測定部5と、該測定部とは分離して設けられて測定対象たる物体128に倣い係合する倣い部材33を具備した被測定部7と、前記測定部に対する前記被測定部の変位量を検出する検出手段11〜16・・・・・とを有するように構成し、以て上記の効果を得ている。
請求項（抜粋）：
測定の基準となるべき物体に倣い係合する倣い部材を具備した測定部と、前記測定部とは分離して設けられて測定対象物体に倣い係合する倣い部材を具備した被測定部と、前記測定部に対する被測定部の変位量を検出する検出手段とを有する位置調整用測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/00
, H01L 21/304 341
, H01L 21/304
, H01L 21/68
