特許

J-GLOBAL ID：200903048771677353

ウェーハ搬送機

発明者： 吉田 久志 ,  池田 和人 ,  本田 剛一 ,  保坂 英二 ,  開発 秀樹
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328386
公開番号（公開出願番号）：特開平7-183362
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】【目的】 ウェーハに塵埃の付着などのダメージを与えることなくウェーハを確実に検出し、装置内を清浄に保ち、信頼性及び耐久性を向上し、ウェーハ搬送の確実性及びウェーハの歩留りを向上する。【構成】 ウェーハを搬送するウェーハ搬送機17のウェーハ搬送プレート2のウェーハ1と接触する部分内のウェーハ検出可能な位置に、又はウェーハ搬送プレート2のウェーハと接触する部分下面に或いはウェーハ搬送プレート2に対し非接触で反射型又は透過型ウェーハ検出センサ10を設置せしめる。

請求項（抜粋）：

ウェーハを搬送するウェーハ搬送機のウェーハ搬送プレートのウェーハと接触する部分に又はウェーハ搬送プレートに対し非接触でウェーハ検出センサを設置したことを特徴とするウェーハ搬送機。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  G01V 9/00 ,  H01L 21/22 511 ,  H01L 21/31