特許

J-GLOBAL ID：200903048771983470

排ガスの浄化方法

発明者： 石井 康 ,  秋田 昇
出願人/特許権者： 日本パイオニクス株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155316
公開番号（公開出願番号）：特開平8-150320
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：

【要約】【目的】 化合物半導体製造などにおける窒化膜製造工程などから排出されるガス中に比較的多量に含まれるアンモニア、シランおよび有機金属類を効率よく除去する。【構成】 アンモニア、シランおよび有機金属類を含む排ガスをソーダライムに銅(II)塩を担持させた除害剤などと接触させてシランおよび有機金属類を除去したのち、アンモニア分解触媒に接触させアンモニアを窒素と水素に分解し、次いで未分解アンモニアを無機担体に銅(II)塩を担持させた除害剤などで除去する。

請求項（抜粋）：

アンモニアとシランおよび有機金属類を含有する排ガスの浄化方法において、該排ガスを除害剤Aと接触させてシランおよび有機金属類を除去したのち、アンモニア分解触媒と接触させてアンモニアを水素と窒素に分解し、次いで除害剤Bと接触させて未分解アンモニアを除去することを特徴とする排ガスの浄化方法

IPC (5件)：

B01D 53/46 ,  B01D 53/72 ,  B01D 53/86 ZAB ,  B01J 20/06 ,  C01C 1/12

FI (3件)：

B01D 53/34 120 A ,  B01D 53/34 120 D ,  B01D 53/36 ZAB E

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 有害成分の除去剤及び検知剤
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-284843   出願人：日本酸素株式会社
• 特表平4-502726