特許
J-GLOBAL ID：200903048776127300
低汚染性離型フィルム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 純博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-175627
公開番号（公開出願番号）：特開平11-020105
出願日： 1997年07月01日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：
【要約】【課題】 離型層中の不純物が少なく、ポリエステルフィルム中の不純物が粘着テープへ移行するのを抑制した、半導体製造の際のウエハー研磨工程又はダイシング工程で使用する粘着剤の保護フィルムなどに有用な離型フィルムを提供する。【解決手段】 ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、アルキッド樹脂及びアクリル樹脂から選ばれた少なくとも1種の樹脂並びにメラミン樹脂からなる有機樹脂に対し、フェニル基を有するジメチルポリシロキサンを成分として含む変性シリコーン樹脂を0〜30mol%の割合で反応させて得られる樹脂を離型層として設けた離型フィルムであって、該離型フィルムを保護フィルムとして用いた半導体製造工程用粘着テープのウエハー汚染値が200個以下である離型フィルム。
請求項（抜粋）：
ポリエステルフィルムの少なくとも片面に、アルキッド樹脂及びアクリル樹脂から選ばれた少なくとも1種の樹脂並びにメラミン樹脂からなる有機樹脂に対し、フェニル基を有するジメチルポリシロキサンを成分として含む変性シリコーン樹脂を0〜30mol%の割合で反応させて得られる樹脂を離型層として設けた離型フィルムであって、該離型フィルムを保護フィルムとして用いた半導体製造工程用粘着テープのウエハー汚染値が200個以下である離型フィルム。
IPC (5件)：
B32B 27/36
, B32B 27/00
, B32B 27/30
, B32B 27/42
, H01L 21/304 321
B32B 27/36
, B32B 27/00 L
, B32B 27/30 A
, B32B 27/42
, H01L 21/304 321 B
