特許

J-GLOBAL ID：200903048778712472

光音響ガスセンサ用光源およびその製造方法

発明者： 本田 宣昭 ,  藤原 久利 ,  木原 隆
出願人/特許権者： 株式会社山武
代理人 (1件)： 長門 侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-132482
公開番号（公開出願番号）：特開2002-328086
出願日： 2001年04月27日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：

【要約】【課題】 絶縁性薄膜ブリッジ上に形成された薄膜ヒータが出力する赤外光を、光音響ガスセンサのキャビティに効率的に導入(照射)することのできる簡易な構造の光音響ガスセンサ用光源を提供する。【解決手段】 表面に凹部12を形成した半導体基板11と、この半導体基板の凹部を跨いで設けられた絶縁性薄膜ブリッジ13と、この絶縁性薄膜ブリッジ上に形成されて赤外光を出力する薄膜ヒータ14とを具備してなり、特に前記凹部の内壁面および/または前記基板の裏面に、前記薄膜ヒータを囲んでAuまたはAl等からなる赤外光反射膜15をコーティングした構造とする。

請求項（抜粋）：

ガスが導入されるキャビティ内に赤外光を変調して照射する光音響ガスセンサ用光源であって、表面に凹部を形成した半導体基板と、この半導体基板の上記凹部を跨いで設けられるブリッジをなして形成されて赤外光を出力する薄膜ヒータと、前記凹部の内壁面および/または前記基板の裏面にコーティングされた赤外光反射膜とを具備したことを特徴とする光音響ガスセンサ用光源。

IPC (4件)：

G01N 21/01 ,  G01N 21/00 ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/02

FI (4件)：

G01N 21/01 D ,  G01N 21/00 A ,  G01N 29/00 501 ,  G01N 29/02

Fターム (15件)：

2G047AA01 ,  2G047CA04 ,  2G047EA05 ,  2G047EA14 ,  2G047EA15 ,  2G047GD02 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059CC04 ,  2G059EE16 ,  2G059GG00 ,  2G059GG06 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ13