特許
J-GLOBAL ID：200903048790653988
導電性ボール搭載装置における導電性ボールの供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
秋本 正実
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-140427
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332043
出願日： 1999年05月20日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】必要数のはんだボールを確実にパッケージに搭載することができるようにしたはんだボール搭載装置におけるはんだボールの供給装置を提供する。【解決手段】導電性ボール搭載装置における導電性ボールの供給装置であって、固定プレート13と、この固定プレート13を摺動可能に貫通し下方に向けて付勢されたピン14に結合され、内部にはんだボール2を収容する容器18と、この容器18を上方に向けて振動させるカムフォロア19およびカム24a、24bからなる加振装置とを備え、前記加振装置で前記容器18を上下方向に振動させ、容器18内に収容されたはんだボール2を浮遊させるようにした。
請求項（抜粋）：
パッケージに形成された複数の接続端子に、整列マスクに前記接続端子と同じ配列で形成された複数の吸着穴に吸着させた複数の導電性ボールを転写して搭載するようにした導電性ボール搭載装置における導電性ボールの供給装置であって、固定プレートと、内部にはんだボールを収容する容器と、前記固定プレートと容器を相対移動可能に接続する案内手段と、前記容器を上方に向けて振動させる加振装置とを備え、前記加振装置で前記容器を上下方向に振動させ、容器内に収容されたはんだボールを浮遊させるようにしたことを特徴とする導電性ボール搭載装置における導電性ボールの供給装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/92 604 H
, H01L 23/12 L
