特許
J-GLOBAL ID:200903048796742966

ランガサイト・ウェファーおよびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 社本 一夫 (外5名)
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-539488
公開番号(公開出願番号):特表2001-527500
出願日: 1997年12月30日
公開日(公表日): 2001年12月25日
要約:
【要約】本発明は電子光学の分野に関し、表面弾性波(SAW)とバルク音波(体積音波)において作用する音響電子工学周波数選択デバイスに用いることができる。本発明の目的は、化学量論的に構造化されたランタン・ガリウム・シリケートの単結晶であって、75mm以上の直径と3.5kg以上の重量を有し、〈01.1〉±3°の結晶方位を有する単結晶を開発するための工業的プロセスを確立することである。ディスクは長手軸に対して90°の角度で切り出され、それによって、周波数温度係数の値がゼロになる。
請求項(抜粋):
ランガサイトの単結晶を成長させるための装填材を調製する方法であって、ランタン、ガリウム、およびケイ素の酸化物を混合し、得られた混合物を加熱する工程を含む方法において、金属ガリウムを酸化物の混合物に下記の比率で添加し:La2O3:Ga2O3:SiO2=1:(0.2〜0.3):(0.68〜0.55):0.12、自発的高温合成反応が開始する前に、加熱を酸化剤が局部的かつ一時的に存在する状態で実施する、ことを特徴とする方法。

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