特許
J-GLOBAL ID：200903048801538817
電気化学センサアレイ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤巻 正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-146410
公開番号（公開出願番号）：特開2006-322813
出願日： 2005年05月19日
公開日（公表日）： 2006年11月30日
要約：
【課題】 複数の項目を検出することができ、高密度で、化学的安定性及び耐薬品性が優れた電気化学センサアレイ及びその製造方法を提供する。 【解決手段】 絶縁性基板2の表面上に、センサ部となる相互に分離された複数の導電性炭素膜3を形成した後、ドライエッチングにより、絶縁性基板2における各導電性炭素膜3の直下域に貫通孔を形成する。そして、めっき等により、この貫通孔内にAu等の導電体を埋め込んで、一方の端部が導電性炭素膜3に接触するスルーホール4を形成する。その後、絶縁性基板2の他方の面上に、対応するスルーホール4と接触する複数の引出電極5を形成する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
絶縁性基板と、前記絶縁性基板の一方の面上に形成され導電性炭素膜からなる複数個のセンサ部と、前記絶縁性基板の他方の面上に形成された複数個の引出電極と、前記絶縁性基板内に形成され前記導電性炭素膜とこの導電性炭素膜に対応する引出電極とを相互に接続するスルーホールと、を有することを特徴とする電気化学センサアレイ。
IPC (3件)：
G01N 27/30
, G01N 37/00
, G01N 27/416
G01N27/30 B
, G01N37/00 102
, G01N37/00 103
, G01N27/46 336G
