特許

J-GLOBAL ID：200903048812847021

ウエハ外周部の研磨方法

発明者： 丸山 孝利 ,  増山 尚司
出願人/特許権者： 日立電線株式会社
代理人 (1件)： 松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-196120
公開番号（公開出願番号）：特開平7-050279
出願日： 1993年08月06日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：

【要約】【目的】ウエハ外周部を研磨する研磨方法において、構造が簡単な研磨機で、研磨の生産性が上げられる研磨方法を提供すること。【構成】1)円筒内面に研磨材を取付けた円筒状ロールを用い、ウエハ外周部に研磨材を当て、ウエハ外周部を研磨する研磨方法。2)円筒内面に研磨材を取付けた円筒状ロール及び円筒外面に研磨材を取付けた円筒状ロールの2種の研磨ロールを組み合わせて用い、ウエハ外周部を研磨する、ウエハ外周部の研磨方法。

請求項（抜粋）：

円筒内面に研磨材を取付けた円筒状ロールを用い、ウエハ外周部に研磨材を当て、ウエハ外周部を研磨することを特徴とするウエハ外周部の研磨方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 301 ,  H01L 21/304 321 ,  B24B 9/00 ,  H01L 21/02