特許
J-GLOBAL ID：200903048814747571
粉末供給装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-105614
公開番号（公開出願番号）：特開平5-239627
出願日： 1991年05月10日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：
【要約】【目的】 本発明は粉末供給装置に関し、更に詳しくはプラズマ中に粉末をキャリアガスと共に供給し、予め配置されている試料に粉末を蒸着するシステムにおける粉末供給装置に関し、粉末が隙間部分に入り込んで噛み合うことなく、安定に一定量の粉末を供給できるようにすることを目的としている。【構成】 中心から所定の位置の円周上に突起した溝が形成された回転可能な粉末供給盤と、該粉末供給盤の上に載置され、粉末を粉末供給盤に形成された溝に落としこむための気密性の粉末容器と、該粉末容器内で粉末を撹拌させる回転可能な撹拌体とで構成される。
請求項（抜粋）：
中心から所定の位置の円周上に突起した溝が形成された回転可能な粉末供給盤と、該粉末供給盤の上に載置され、粉末を粉末供給盤に形成された溝に落としこむための気密性の粉末容器と、該粉末容器内で粉末を撹拌させる回転可能な撹拌体とで構成された粉末供給装置。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, C23C 4/00
, B65G 47/18
