特許

J-GLOBAL ID：200903048825609731

オンチップカラーフィルターの製造方法

発明者： 松崎 康二 ,  堀内 俊二
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328235
公開番号（公開出願番号）：特開平11-160515
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：

【要約】【課題】 オンチップカラーフィルターに感光性顔料分散型着色レジストを用いた場合、感光性顔料分散型着色レジストと下地である平坦化膜との密着性を向上させたオンチップカラーフィルターの製造方法を提供する。【解決手段】 下地基板10を準備し、下地基板10の上に平坦化膜2を塗布する。次に、平坦化膜2の表面にO2 プラズマアッシング処理を施し、平坦化膜2に純水リンス処理を施す。これにより、平坦化膜2の表面は親水化処理される。次に、平坦化膜2の上に感光性顔料分散型着色レジスト(CR)を塗布し、このCRを露光し、スプレー現像方式により現像する。これを所望の回数繰り返すことにより、平坦化膜2上に所望の色のカラーフィルターパターンが形成される。従って、CRと平坦化膜との密着性を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

感光性顔料分散型着色レジストを用いてオンチップカラーフィルターを製造する製造方法であって、平坦化膜の表面を親水化処理する工程と、該平坦化膜の表面上に感光性顔料分散型着色レジストを塗布する工程と、を具備することを特徴とするオンチップカラーフィルターの製造方法。

IPC (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 505

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G02F 1/1335 505 ,  G03F 7/004 505