特許
J-GLOBAL ID：200903048829271085
エンコーダ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
植本 雅治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-072654
公開番号（公開出願番号）：特開平7-004993
出願日： 1994年03月16日
公開日（公表日）： 1995年01月10日
要約：
【要約】【目的】 被測定物の二次元的な移動量等の測定を高分解能でかつ簡単な構成で行なうことが可能である。【構成】 クロスグレーティング構造の回折格子2では、光源1からの光が入射するときにこれを回折して第1の平面内に方向余弦をもつ第1種の回折光と第1の平面と直交する第2の平面内に方向余弦をもつ第2種の回折光とを発生させる。干渉部30では、回折格子2からの第1種の回折光の中から互いに異なる2つの回折光nx1,nx2を選択して干渉させて第1種の干渉光とし、また回折格子2からの第2種の回折光の中から互いに異なる2つの回折光ny1,ny2を選択して干渉させて第2種の干渉光とする。受光素子6では、第1種の干渉光の位相の変化を検出し、受光素子7では、第2種の干渉光の位相の変化を検出する。これらの検出結果に基づき回折格子2の移動量等が測定できる。
請求項（抜粋）：
光源と、光源からの光が入射するときにこれを回折して第1の平面内に方向余弦をもつ第1種の回折光と第1の平面と直交する第2の平面内に方向余弦をもつ第2種の回折光とを発生させるクロスグレーティング構造の回折格子と、該回折格子からの第1種の回折光の中から互いに異なる2つの回折光を選択して干渉させて第1種の干渉光とし、また前記回折格子からの第2種の回折光の中から互いに異なる2つの回折光を選択して干渉させて第2種の干渉光とする干渉手段と、第1種の干渉光の位相の変化を検出する第1の位相変化検出手段と、第2種の干渉光の位相の変化を検出する第2の位相変化検出手段とを備えていることを特徴とするエンコーダ装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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