特許

J-GLOBAL ID：200903048834493240

投影露光装置

発明者： 山中 幸治
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-230355
公開番号（公開出願番号）：特開平7-099146
出願日： 1993年09月16日
公開日（公表日）： 1995年04月11日
要約：

【要約】【目的】 投影露光装置に用いるレチクルを圧力差を利用して所望の形状に湾曲させる。【構成】 対をなす互いに向き合う気圧室R1,R2の開放端壁をレチクル11で気密に閉塞し、圧力調整用パイプ15から窒素ガス又は空気を各気圧室R1,R2に送り込んで気圧室R1,R2相互間に圧力差を生じさせ、その圧力差を利用してレチクル11を凸又は凹型形状に湾曲させる。

請求項（抜粋）：

対をなす気圧室と、圧力調整部とを有し、光源から照射された光をマスク上のパターンに入射し、該パターンをレンズ系に通してウェーハ上に投影する投影露光装置であって、対をなす気圧室は、マスクを挾んでその両側に配設され、各気圧室のマスクと向き合う端壁は、開放されたものであり、気圧室の開放端壁は、マスクにより気密に閉塞されており、光源からの光が入射する一方の気圧室の端壁、及びマスクを透過した光が出射する他方の気圧室の端壁は、光の透過性をもつものであり、圧力調整部は、対をなす気圧室相互間に圧力差を生じさせ、その圧力差によりマスクに所望の屈撓力を付与するものであることを特徴とする投影露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 516 A ,  H01L 21/30 526 A