ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、それを用いたポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-246796
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125814
出願日： 2002年08月27日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：

【課題】膜厚が厚くなっても高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ高感度が得られるポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】アルカリ可溶性樹脂(A)100重量部、式(1)で示されるフェノール化合物の、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル及び/又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル(B)1〜50重量部を含むことを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

式(1)で示されるフェノール化合物の、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステルであることを特徴とするナフトキノンジアジドスルホン酸エステル。

IPC (5件)：

G03F7/022 , C08G69/36 , C08G69/42 , G03F7/037 , H01L21/027

FI (5件)：

G03F7/022 601 , C08G69/36 , C08G69/42 , G03F7/037 , H01L21/30 502R

Fターム (32件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025CB23 , 2H025CB25 , 2H025CB26 , 2H025CB32 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025FA17 , 4J001DA01 , 4J001DB02 , 4J001DC10 , 4J001EB28 , 4J001EB33 , 4J001EB34 , 4J001EB44 , 4J001EB56 , 4J001EB57 , 4J001EB58 , 4J001EB60 , 4J001EC38 , 4J001EC44 , 4J001EC65 , 4J001EC66 , 4J001EC67 , 4J001EC68 , 4J001EC70 , 4J001JA07

引用特許：

審査官引用 (7件)

ポジ型感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-277377 出願人：旭化成株式会社
ポジ型フオトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-104541 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性樹脂組成物及び半導体装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-265151 出願人：住友ベークライト株式会社

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