特許
J-GLOBAL ID:200903048835480630

移行型アークプラズマの出力制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 秋沢 政光 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-011282
公開番号(公開出願番号):特開平7-201492
出願日: 1994年01月05日
公開日(公表日): 1995年08月04日
要約:
【要約】【目的】 移行型アークプラズマによる加熱において、プラズマの出力制御範囲を広げ、かつなめらかに出力制御する。【構成】 移行型のプラズマトーチ10と、電流値制御、アーク長制御、プラズマ作動ガス混合比制御を行う制御装置17と、電流値を制御する電源1と、アーク長を制御するトーチ昇降装置12、15と、2種類以上のプラズマ作動ガスの混合比を制御するガス流量計18とを備える。電流値制御とアーク長制御とガス混合比制御とを制御要素とし、?@電流値制御、?Aアーク長制御、?Bガス混合比制御の順に選択して制御することによりプラズマ出力を制御する。【効果】 プラズマの出力制御範囲を広げることができ、自由にかつなめらかにプラズマ出力を変更することができるので、プラズマ加熱装置による操業の幅が広がるとともに、柔軟な操業条件の実現が可能となる。
請求項(抜粋):
移行型プラズマトーチを用いた加熱装置の移行型アークプラズマの出力制御方法において、プラズマ発生用電源の電流値制御と、アーク長制御と、2種類以上のプラズマ作動ガスのガス混合比制御とをプラズマ出力の制御要素にすると共に、これら制御要素をその制御量の操作限界内であらかじめ定めた優先度に応じて選択し、各制御要素の制御量を段階的に切り換えることによりプラズマ出力を制御することを特徴とする移行型アークプラズマの出力制御方法。

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