特許

J-GLOBAL ID：200903048841005005

曲面形状を有する構造体及びその製造装置、製造方法

発明者： 高木 康夫 ,  宮嶋 俊平 ,  佐賀 誠 ,  高田 健 ,  松村 英樹 ,  増田 淳
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社 ,  北陸先端科学技術大学院大学長
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400542
公開番号（公開出願番号）：特開2003-193235
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月09日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、様々な曲面形状の表面を有する基体上に均一な表面層を形成した構造体及びその製造装置、製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】 曲率半径の一定しない曲面形状表面を有する基体上に、触媒CVD法で形成された表面層を有することを特徴とする曲面形状を有する構造体及びその製造装置、製造方法である。

請求項（抜粋）：

曲率半径の一定しない曲面形状表面を有する基体上に、触媒CVD法で形成された表面層を有することを特徴とする曲面形状を有する構造体。

IPC (3件)：

C23C 16/24 ,  C23C 16/44 ,  H01L 31/04

FI (3件)：

C23C 16/24 ,  C23C 16/44 A ,  H01L 31/04 V

Fターム (22件)：

4K030BA29 ,  4K030BA30 ,  4K030BB03 ,  4K030CA02 ,  4K030CA11 ,  4K030EA03 ,  4K030FA00 ,  4K030FA10 ,  4K030GA12 ,  4K030KA10 ,  4K030KA11 ,  4K030KA41 ,  4K030LA16 ,  5F051AA03 ,  5F051AA05 ,  5F051CA02 ,  5F051CA03 ,  5F051CA04 ,  5F051CA14 ,  5F051DA04 ,  5F051FA02 ,  5F051GA02