特許
J-GLOBAL ID：200903048845331411
フッ化物結晶の製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-081625
公開番号（公開出願番号）：特開平10-279396
出願日： 1997年03月31日
公開日（公表日）： 1998年10月20日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、結晶中に残留する不純物やスカベンジャー等を効率良く除去し、透過率の高いフッ化物結晶を製造し得るフッ化物結晶の製造装置を提供することを目的とする。【解決手段】 原料にスカベンジャーを添加して結晶成長を行う工程において、結晶成長に用いるルツボを複数に分割し多段にしたことを特徴とする。また、前記分割したルツボの重ね合わせ部に段差を設けたことを特徴とする。さらに、前記ルツボの底面の中心部に下段のルツボに融液が落下させるための接続穴を形成し、前記ルツボの底面の周辺部にガス抜き穴を設けたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
原料にスカベンジャーを添加して結晶成長を行う工程において、結晶成長に用いるルツボを複数に分割し多段にしたことを特徴とするフッ化物結晶の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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