特許
J-GLOBAL ID：200903048848275288
蒸着装置におけるるつぼ部機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-073757
公開番号（公開出願番号）：特開平9-263933
出願日： 1996年03月28日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】 断続的にプラズマガン3を起動させることができる蒸着装置1におけるるつぼ部機構7を提供する。【解決手段】 プラズマビームPによりるつぼ6内の絶縁材料からなる蒸発材料Jを蒸発させて基板Sに成膜する蒸着装置1において、るつぼ6の上方にるつぼ6の縁部6a上方とその外方とを往復可能とした移動電極8、8を設けるとともに、移動電極8、8より上方にるつぼ縁部外側形状の開口部9aを備えた防着板9を近接して設けた。
請求項（抜粋）：
プラズマビームによりるつぼ内の絶縁材料からなる蒸発材料を蒸発させて基板に成膜する蒸着装置において、上記るつぼの上方に上記るつぼの縁部上方とその外方とを往復可能とした電極を設けるとともに、上記電極より上方にるつぼ縁部外側形状の開口部を備えた防着板を近接して設けたことを特徴とする蒸着装置におけるるつぼ部機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/24 A
, C23C 14/32 A
