特許
J-GLOBAL ID：200903048852858875
加熱器を用いた液状反応体の燃焼によりシリカを形成する方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
柳田 征史 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-503022
公開番号（公開出願番号）：特表2001-510134
出願日： 1998年06月11日
公開日（公表日）： 2001年07月31日
要約：
【要約】本発明は、シリカガラス及びシリカガラスプリフォームを作成する方法に関する。熱酸化分解によりSiO2 に転化させることができる、ハロゲン化物を含まない珪素含有化合物を用意し且つこの化合物をシリカに転化させる燃焼バーナの火炎の中に直接導入し、かくして微細に分割された非結晶スートを形成する。液体が霧化によりシリカガラスに転化される部位の直ぐ近くで、霧化用ガス流により前記スートが気化される。バーナ面の直ぐ近くでバーナ火炎の周囲にある加熱器がスートの捕捉率を向上させ且つ霧化用ガスの速度を低下させる。非晶質スートが受容部材の表面上に堆積され、ここで、この堆積とほぼ同時に、またはこの堆積の後に、スートが溶融シリカガラス体に溶融固化される。
請求項（抜粋）：
シリカの製造方法において、 a)液体原料を液状で転化部位に配送し、 b)前記液体原料を前記転化部位の直ぐ近くで霧化し、 c)霧化された前記液体原料を燃焼バーナ内の前記転化部位の直ぐ近くでシリカに転化させ、 d)前記転化部位の直ぐ近くに加熱器を用意する、各工程を含むことを特徴とするシリカの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C03B 20/00 D
, C01B 33/18
