特許

J-GLOBAL ID：200903048853177200

ガスレーザ装置

発明者： 川北 有
出願人/特許権者： 日新電機株式会社
代理人 (1件)： 川崎 勝弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-309849
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125978
出願日： 1996年10月16日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】 コロナ放電により予備電離を行うガスレーザ装置のレーザ発振の効率を高めること。【解決手段】 レーザ管1内に一対の主放電電極2、3と主放電電極に沿って配置されたコロナ放電発生電極とを備えてなるガスレーザ装置において、前記コロナ放電発生電極を、誘電体パイプ11の内部に第1の電極112を挿通し、外表面に第2の電極13を形成してなるとともに、第2の電極13をメッシュ電極構造等の、誘電体パイプ11の軸方向に伸びる要素と周方向に伸びる要素のコロナ発生縁部を多く設けて構成し、コロナ放電の量を多くして予備電離に必要な紫外光等を多量に得るようにする。

請求項（抜粋）：

一対の主放電電極と誘電体パイプの内部に第1の電極が挿通され外表面に第2の電極が形成されてなるコロナ放電発生電極とを有し、前記コロナ放電発生電極が前記主放電電極に沿って配置されてなるガスレーザ装置において、前記第2の電極が前記誘電体パイプの軸方向に伸びる要素と周方向に伸びる要素のコロナ発生縁部を有してなることを特徴とするガスレーザ装置。