特許

J-GLOBAL ID：200903048854018564

複数部材の位置合わせ方法および装置

発明者： 久保田 智之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 丸島 儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-350175
公開番号（公開出願番号）：特開平10-187979
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年07月21日
要約：

【要約】【課題】 ゴミの存在や、検出マークの印刷精度が悪い等の影響があった場合にも、高精度な位置合わせを可能とする。【解決手段】 複数の部材の少なくとも2個所以上に形成した位置検出用のマークを検出し、この検出したマークの位置から各部材のマークが所定の位置関係となるように一方の部材の移動量を算出し、この算出した移動量に基づいて前記一方の部材を移動させる複数の部材の位置合わせ方法であって、前記マークの位置検出に先立って、前記マークのグレイパターンおよびこのパターンの位置を登録し、この登録したグレイパターンの重心を求め、この重心位置と前記登録したグレイパターンの位置とのオフセット量を求め、位置合わせ実行時には、前記登録したグレイパターンと、前記検出したマークのパターンとの相関関係が最大の位置を求め、この位置に前記オフセット量を加算して位置合わせを実行する。

請求項（抜粋）：

複数の部材の少なくとも2個所以上に形成した位置検出用のマークを検出し、この検出したマークの位置から各部材のマークが所定の位置関係となるように一方の部材の移動量を算出し、この算出した移動量に基づいて前記一方の部材を移動させる複数の部材の位置合わせ方法であって、前記マークの位置検出に先立って、前記マークのグレイパターンおよびこのパターンの位置を登録し、この登録したグレイパターンの重心を求め、この重心位置と前記登録したグレイパターンの位置とのオフセット量を求め、位置合わせ実行時には、前記登録したグレイパターンと、前記検出したマークのパターンとの相関関係が最大の位置を求め、この位置に前記オフセット量を加算して位置合わせを実行することを特徴とする複数の部材の位置合わせ方法。

IPC (3件)：

G06T 7/00 ,  G02F 1/1333 500 ,  G06T 7/60

FI (3件)：

G06F 15/62 400 ,  G02F 1/1333 500 ,  G06F 15/70 360