特許
J-GLOBAL ID:200903048855543131

水晶振動子の容器とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-252259
公開番号(公開出願番号):特開2000-082933
出願日: 1998年09月07日
公開日(公表日): 2000年03月21日
要約:
【要約】【課題】 キャップに形成したNi-Auめっき層にレーザーによる印字加工を行うと印字の周辺が黒色化し、ブラシによって除去しなければ適正印字状態にならない。一方、上記のめっき層では層中にガスが含有しており気密封止時にそのガスが放出されて容器内の雰囲気、真空度が劣化し水晶振動子の周波数経時変化も劣化する。【解決手段】 キャップに積層からなるめっき層を形成し、しかる後に熱処理を行い表面に拡散層を形成させるとレーザーの印字加工で黒色化が防げる。また、熱処理を行うことでめっき層中の含有ガスが放出され気密封止後に於ける水晶振動子の周波数経時変化が劣化しない。
請求項(抜粋):
水晶振動子を構成するベースとキャップとを加熱により溶融する接合材を介して気密封止する水晶振動子であって、前記キャップは母材にめっきからなる下地層とその上に拡散層を有し、前記接合材はキャップの拡散層と接合することを特徴とする水晶振動子の容器。
IPC (4件):
H03H 9/02 ,  H01L 23/02 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/10
FI (4件):
H03H 9/02 A ,  H01L 23/02 C ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/10
Fターム (5件):
5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108GG15 ,  5J108KK04 ,  5J108MM02
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭62-283646
  • 特開平3-179793

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