特許
J-GLOBAL ID：200903048855826443
複合硬質膜、その膜の形成方法および耐摩耗性部品
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-010862
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209194
出願日： 1998年01月23日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：
【要約】【課題】 基材との密着性にすぐれたダイヤモンド粒子を複合させた耐摩耗性硬質膜を得る。【解決手段】 4a、5a、6a族及びFe、Coのうち少なくとも一種類の窒化物、炭化物、酸化物、炭窒化物、ホウ化物よりなる粒状の鋳型物質と、ダイヤモンド粒子が50体積%未満となるように複合されている。そのダイヤモンド粒子の粒径が30nm以下で、ダイヤモンド粒子の粒界が前記鋳型物質と接している。炭化タングステン(WC)基超硬合金、セラミックス、サーメット、高速度鋼の基材上に、若しくは該基材の表面上に形成したの中間層の表面上に、その複合硬質膜を形成する。
請求項（抜粋）：
4a、5a、6a族及び鉄、コバルトのうち少なくとも一種類の窒化物、炭化物、酸化物、炭窒化物、ホウ化物よりなる粒状の鋳型物質とダイヤモンド粒子とが、該ダイヤモンド粒子の体積%で50未満で複合されていることを特徴とする複合硬質膜。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/04 W
, C23C 14/06 L
