特許

J-GLOBAL ID：200903048858703300

応力センサ及びその製造法

発明者： 犬飼 厚臣 ,  唐澤 文明
出願人/特許権者： ケイテックデバイシーズ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-362020
公開番号（公開出願番号）：特開2004-191294
出願日： 2002年12月13日
公開日（公表日）： 2004年07月08日
要約：

【課題】対となる電極2間に抵抗体3が配置された抵抗素子5へ付与された応力が、当該抵抗素子5を刺激することでその抵抗値が変化し、当該変化に基づき当該応力を検知する応力センサにおいて、S/N比を大きくする。【解決手段】抵抗体3が1以上の円形又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング穴1、及び/又は1以上の円弧状又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング用切欠き部7を有する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

対となる電極間に抵抗体が配置された抵抗素子へ付与された応力が、当該抵抗素子を刺激することでその抵抗値が変化し、当該変化に基づき当該応力を検知する応力センサにおいて、 前記抵抗体が1以上の円形又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング穴、及び/又は1以上の円弧状又はそれに類似した形状、又はそれらが一部重なった結果形成される輪郭形状のトリミング用切欠き部を有することを特徴とする応力センサ。

IPC (1件)：

G01L1/18

FI (1件)：

G01L1/18 Z

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-088303
  
• 特開昭53-114057
  
• 特開昭56-088303
  
• 特開昭53-114057