特許
J-GLOBAL ID：200903048859079227
基板搬送装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-187492
公開番号（公開出願番号）：特開平11-011663
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月19日
要約：
【要約】【課題】 容器内に支持板を差し入れる際に容器内からはみ出している被処理基板を押し戻して位置ズレを自動的に補正することができ、搬送途中での被処理基板の脱落を未然に防止することができる基板搬送装置を提供する。【解決手段】 被処理基板Wを多段に収容した容器4,6内に支持板9を差し入れ、この支持板9上に被処理基板Wを載せて搬送する基板搬送装置において、上記支持板9の基部には上記容器4,6内からはみ出して位置ズレしている被処理基板Wの縁部に当接して支持板9の差し入れ時に当該被処理基板Wを容器4,6内に押し戻すための位置ズレ補正部材23が設けられている。
請求項（抜粋）：
被処理基板を多段に収容した容器内に支持板を差し入れ、この支持板上に被処理基板を載せて搬送する基板搬送装置において、上記支持板の基部には上記容器内からはみ出して位置ズレしている被処理基板の縁部に当接して支持板の差し入れ時に当該被処理基板を容器内に押し戻すための位置ズレ補正部材が設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 49/07
, H01L 21/22 511
, H01L 21/68
B65G 49/07 E
, H01L 21/22 511 J
, H01L 21/68 A
