特許
J-GLOBAL ID：200903048865740970
半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 和男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-108906
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283504
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 半導体搬送装置への半導体の搬入及び搬出時だけゲートバルブを開放して半導体を通過させ、密閉装置内を高度に清浄に保つと共に半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置からのオイルミストや塵埃の発生を防止して半導体製品の信頼性の向上を図る。【構成】 半導体搬送装置をゲートバルブ19を配設した密閉装置として構成し、半導体の通過時のみ完全密閉形電動モータ21により該ゲートバルブを開閉駆動するようにした構成を特徴とする。
請求項（抜粋）：
板状半導体を垂直に立てた状態でフレームに保持し該フレームと共に前記板状半導体を密閉装置内で連続して搬送しながら処理加工を行うようにした半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置において、垂直方向に配設された回動軸を中心として回動して前記密閉装置の半導体搬入口及び半導体搬出口を開閉するゲートバルブと、前記回動軸に連結されて該回動軸を回動させて前記ゲートバルブを開閉駆動する電動モータとを備え、該電動モータのみにより前記ゲートバルブを開閉するように構成したことを特徴とする半導体搬送装置のゲートバルブ開閉装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/00
, B65G 49/07
