特許

J-GLOBAL ID：200903048868700678

EPMA法による金属間化合物の厚さ測定方法及びこの方法を用いた金属間化合物の立体形状測定方法

発明者： 長田 義男
出願人/特許権者： 日本軽金属株式会社
代理人 (1件)： 成瀬 勝夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-306759
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189005
出願日： 2001年10月02日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】 EPMAを用いて金属間化合物の厚さ又は立体形状を測定し、あるいは推定するEPMA法による金属間化合物の厚さ又は立体形状の測定方法を提供する。【解決手段】 複数の構成金属を含む金属間化合物についてその厚さや立体形状をEPMAで測定する方法であり、金属間化合物上の1点あるいは複数の測定点に電子線を照射し、この電子線照射により励起した各測定点における測定対象金属からの特性X線強度を測定し、この測定された特性X線強度から各測定点における測定対象金属の相対X線強度比を算出し、これら各測定点における測定対象金属の相対X線強度比とモンテカルロシミュレーション法により求めた測定対象金属の相対X線強度比-厚さの関係とから上記金属間化合物の各測定点における厚さを求め、あるいは、更に各測定点の分布と各測定点における厚さとから金属間化合物の立体形状を測定する方法である。

請求項（抜粋）：

複数の構成金属を含む厚さ未知の金属間化合物の厚さをEPMAで測定する方法であり、当該金属間化合物を構成する複数の測定対象金属についてその金属特性X線強度を測定し、これら測定された各測定対象金属の金属特性X線強度と、各測定対象金属と同じ金属の金属100%特性X線強度とから当該金属化合物における各測定対象金属の相対X線強度を求め、得られた各測定対象金属の相対X線強度から測定対象金属の相対X線強度比を算出し、モンテカルロシミュレーション法により求めた測定対象金属の相対X線強度比-厚さの関係から上記金属間化合物の厚さを求めることを特徴とするEPMA法による金属間化合物の厚さ測定方法。

IPC (2件)：

G01N 23/225 ,  G01B 15/02

FI (3件)：

G01N 23/225 ,  G01B 15/02 B ,  G01B 15/02 D

Fターム (14件)：

2F067AA27 ,  2F067DD08 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ03 ,  2F067KK02 ,  2G001AA03 ,  2G001BA05 ,  2G001CA01 ,  2G001GA01 ,  2G001GA13 ,  2G001GA14 ,  2G001JA05 ,  2G001KA11 ,  2G001NA18