エッチング方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：豊田善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-044035
公開番号（公開出願番号）：特開平9-213676
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】単結晶シリコンの異方性エッチングにおいて、エッチング残りやオーバーエッチングを防止し、均一なエッチングを行なう。【解決手段】被エッチング試料である液晶セル17を保護する治具11の下蓋12と該液晶セル17との間に、ポリイミドテープ等の絶縁材料を挟持し、該液晶セルと治具11とを電気的に絶縁する。

請求項（抜粋）：

アルカリ性のエッチング溶液を用いてシリコンの異方性エッチングを行なう方法であって、上記シリコンを有する被エッチング試料と、エッチングする領域を残して該試料を保護する治具との間を、電気的に絶縁することを特徴とするエッチング方法。

IPC (2件)：

H01L 21/306 , H01L 21/308

FI (2件)：

H01L 21/306 A , H01L 21/308 B

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