超音波探触子およびその製造方法

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：富田和子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-209927
公開番号（公開出願番号）：特開2002-027594
出願日： 2000年07月11日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】振動子の高密度実装に最適な探触子構造を提供する【解決手段】本超音波探触子100は、回路実装基板110、複数の切替スイッチ回路が作り込まれた半導体素子120、半導体素子120の背面120aに形成された電気音響変換層130、を有している。そして、電気音響層130には、各切替スイッチ回路の接点につながる電極にそれぞれ成膜された駆動電極132、各駆動電極132にそれぞれ振動子として成膜された圧電薄膜131、すべての圧電薄膜131に共通に形成されたグランド電極134、各駆動電極131とグランド電極134との間に充填された絶縁層133、最外層としてグランド電極134上に形成された音響整合層135、が含まれている。

請求項（抜粋）：

複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子への印加電圧をオンオフする半導体素子とを備えた超音波探触子であって、前記各圧電素子として、前記半導体素子に成膜された複数の圧電薄膜を有することを特徴とする超音波探触子。

IPC (7件)：

H04R 17/00 332 , H04R 17/00 330 , A61B 8/00 , G01N 29/24 502 , H04N 7/18 , H04R 3/00 330 , H04R 31/00 330

FI (7件)：

H04R 17/00 332 B , H04R 17/00 330 H , A61B 8/00 , G01N 29/24 502 , H04N 7/18 Q , H04R 3/00 330 , H04R 31/00 330

Fターム (26件)：

2G047EA00 , 2G047GA00 , 2G047GB02 , 2G047GB21 , 4C301EE20 , 4C301GB09 , 4C301GB18 , 5C054AA05 , 5C054CA08 , 5C054CB03 , 5C054EA01 , 5C054EA05 , 5C054FD05 , 5C054HA05 , 5C054HA12 , 5D019AA06 , 5D019AA26 , 5D019BB02 , 5D019BB19 , 5D019BB28 , 5D019EE06 , 5D019FF04 , 5D019GG01 , 5D019GG11 , 5D019HH01 , 5D019HH02

引用特許：

審査官引用 (5件)

超音波トランスジューサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-283986 出願人：株式会社東芝
特開平3-270599
超音波探触子及び超音波診断装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-169758 出願人：株式会社東芝

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