特許

J-GLOBAL ID：200903048877752192

超硬質膜被覆部材及びその製造方法

発明者： 西村 一仁 ,  冨森 紘 ,  松本 寧 ,  河合 成宜
出願人/特許権者： 大阪ダイヤモンド工業株式会社
代理人 (1件)： 青木 秀實 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254954
公開番号（公開出願番号）：特開平7-082082
出願日： 1993年09月16日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明はダイヤモンド等の超硬質膜とサーメット基材が強固に付着した超硬質膜被覆部材並びに同部材を製造する方法を提供しようとするものである。【構成】 サーメット基材の表面をIa,Vb族元素またはその化合物の存在する雰囲気中または溶液乃至融液中で処理し、該処理を経た基材表面上に気相合成法により超硬質膜を形成する。斯くして形成した超硬質膜は基材との付着強度が高く、 0.1μmRmax 以下の表面粗さに研磨可能で残存膜厚も厚く、重切削に耐え高精度、長寿命の切削工具材料として好適である。

請求項（抜粋）：

予めIaまたはVb族元素の1種以上またはその化合物によって処理されたサーメット基材の表面上に、気相合成法によりダイヤモンド及びまたはダイヤモンド状炭素よりなる超硬質膜を形成してなることを特徴とする超硬質膜被覆部材。

IPC (5件)：

C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  C22C 29/08 ,  C23C 16/26 ,  B23B 27/14