露光装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-282872
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124842
出願日： 1994年10月21日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：

【要約】【目的】本発明は露光装置において、スループツトを低下させることなく位置検出手段の検出特性の変動に起因した結像特性の劣化を除去する。【構成】マスク(2)と感光基板(3)を投影光学系(4)に対して対面するように一体的に保持するステージ保持台(5)に一対の基準板(11A)、(11B)を所定の位置関係となるように保持させる。そしてこの一対の基準板(11A)、(11B)についての光軸方向に関する位置関係を定期的に検出することにより位置検出手段(4A)〜(4D)の検出特性に生じた経時変動を検出する。また検出された変動量に応じて駆動手段に与える駆動信号を補正するようにしたことにより安定した結像特性とスループツトを両立する。

請求項（抜粋）：

マスクと感光基板とを投影光学系を挟んで対面するように一体的に保持するステージ保持台と、前記マスクと前記感光基板との前記投影光学系の光軸方向に関する位置関係を検出する位置検出手段と、該位置検出手段の検出結果に基づいて前記マスク及び又は前記感光基板を前記光軸方向に駆動して前記マスクと前記感光基板を所定の位置関係に位置決めする駆動手段とを備えた露光装置において、前記ステージ保持台に前記所定の位置関係で配置された面を有する一対の基準板と、前記基準板について検出された前記光軸方向に関する位置関係に基づいて前記位置検出手段の検出特性に生じた経時変動を検出し、該検出結果に基づいて前記駆動手段に与える駆動量を補正する制御手段とを具えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03F 7/207

FI (2件)：

H01L 21/30 518 , H01L 21/30 525 W

前のページに戻る