特許
J-GLOBAL ID：200903048883949682
板状体の面精度測定方法およびその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大原 拓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110559
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294246
出願日： 1994年04月26日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：
【要約】【目的】 床パネルなどの板状体の面精度(平坦度)を効率良く測定する。【構成】 床パネル(被測定板状体)11に対して所定の高さ位置に設けられたレーザ式変位計8(計測手段)を備え、同レーザ式変位計8から床パネル11の表面までの距離を測定することにより、床パネル11の平坦度を測定するにあたって、平坦な基準面3上に載置されている床パネル11をその上方から押圧してその基準面上に保持する保持部材13を有し、同保持部材13により床パネル11の異なる位置を所定の順序にしたがって1箇所ずつ交代的に押圧するとともに、その際上記レーザ式変位計8にて各位置におけるその表面までの距離を測定することにより、床パネル11の平坦度を測定する。
請求項（抜粋）：
床パネルなどの被測定板状体に対して所定の高さ位置に設けられた計測手段を備え、同計測手段から上記被測定板状体の表面までの距離を測定することにより、上記被測定板状体の平坦度を測定する板状体の面精度測定方法において、平坦な基準面上に載置されている上記被測定板状体をその上方から押圧してその基準面上に保持する保持手段を有し、同保持手段により上記被測定板状体の異なる位置を所定の順序にしたがって1箇所ずつ交代的に押圧するとともに、その際上記計測手段にて各位置におけるその表面までの距離を測定することにより、上記被測定板状体の平坦度を測定するようにしたことを特徴とする板状体の面精度測定方法。
IPC (2件)：
G01B 21/30 101
, G01B 11/30 101
