圧電/電歪膜型素子の製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田喜樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-282271
公開番号（公開出願番号）：特開平7-235708
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1995年09月05日
要約：

【要約】【目的】作動部を高密度化した場合でも不良発生率を増大させることなく、又信頼性や生産性を大きく低下させることもなく、セラミック基板と圧電/電歪作動部との一体化のための熱処理を行なっても、圧電/電歪材料の材料特性の低下率が小さい圧電/電歪膜型素子を提供すること。【構成】窓部5と、適宜長さの第1の溝6aが形成されたグリーンシート状態の第1のセラミック部材8と、前記窓部5及び第1の溝6aを閉塞するグリーンシート状態の第2のセラミック部材4とを積層するとともに焼成一体化してセラミック基板を形成し、次にそのセラミック基板の閉塞された各窓部の底部外表面上に圧電/電歪作動部2を前記セラミック基板と焼成一体化して形成し、その後、セラミック基板の厚肉部外表面上から前記各第1の溝に連通する第2の溝6bをそれぞれ形成することを特徴とする圧電/電歪膜型素子の製造方法。

請求項（抜粋）：

所定の大きさの窓部が少なくとも1つ以上形成され、適宜長さの少なくとも1本以上の第1の溝が前記窓部の内壁面に沿って、且つ、その内壁面から適宜間隔を隔ててそれぞれ形成されたグリーンシート状態の第1の板状セラミック部材と、この第1の板状セラミック部材の少なくとも一方の面に前記各窓部及び第1の溝を閉塞する薄肉のグリーンシート状態の第2の平板状セラミック部材とを積層し、そして、前記積層した両セラミック部材を焼成一体化してセラミック基板を形成し、次に、前記セラミック基板の閉塞された各窓部の底部外表面上に、下部電極膜及び圧電/電歪膜及び上部電極膜から成る圧電/電歪作動部を前記セラミック基板と焼成一体化して形成し、その後、セラミック基板の厚肉部外表面上から前記各第1の溝に連通する第2の溝をそれぞれ形成することを特徴とする圧電/電歪膜型素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01L 41/22 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/09

FI (3件)：

H01L 41/22 Z , B41J 3/04 103 A , H01L 41/08 J

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭63-149159
圧電/電歪アクチュエータ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-059670 出願人：日本碍子株式会社
圧電/電歪膜型素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-163945 出願人：日本碍子株式会社

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