ガスセンサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小島清路 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-020681
公開番号（公開出願番号）：特開2003-222605
出願日： 2002年01月29日
公開日（公表日）： 2003年08月08日
要約：

【要約】【課題】基板とガス感応層との密着性に優れ、測定を繰り返した場合でも、測定精度の低下のない湿度センサ等のガスセンサを提供する。【解決手段】本発明のガスセンサは、特に湿度センサとして利用することができ、この湿度センサは、シリコン基板1等の基板と、この基板の表面に形成された無機骨格と、この無機骨格に分散、含有されたフッ素系樹脂等の高分子電解質体からなる感湿層2と、この感湿層2と接して形成されたPt等からなる櫛歯電極3等の検知電極とを備える。感湿層2は、基板に接して形成され、基板に化学結合している。また、他の本発明のガスセンサ(湿度センサ)では、基板の表面に多孔質膜が形成され、この多孔質膜に、感湿層が投錨効果により固定され、感湿層2が多孔質膜を介して基板に密着している。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板の表面に形成されたガス感応層と、該ガス感応層と接して形成された検知電極と、を備え、該ガス感応層は、無機骨格と、該無機骨格に分散して含有された高分子電解質体とを有することを特徴とするガスセンサ。

FI (3件)：

G01N 27/12 G , G01N 27/12 J , G01N 27/12 K

Fターム (25件)：

2G046AA01 , 2G046AA09 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC03 , 2G046BC05 , 2G046DC13 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA08 , 2G046EA09 , 2G046FA01 , 2G046FA06 , 2G046FB00 , 2G046FE00 , 2G046FE02 , 2G046FE16 , 2G046FE26 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE34 , 2G046FE35 , 2G046FE38

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開昭58-055744
特開平2-209702
特開昭62-247239

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