天井搬送車におけるグリッパ装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内藤哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-111512
公開番号（公開出願番号）：特開2001-294390
出願日： 2000年04月13日
公開日（公表日）： 2001年10月23日
要約：

【要約】【課題】天井搬送車のグリッパ装置が、ウェハキャリアを吊り下げ支持しているときに、前記ウェハキャリアが落下しないようにすることである。【解決手段】ウェハキャリアCを吊り下げ支持するためのグリッパ装置Aにおいて、該装置Aを構成する一対のフィンガ4a,4b を支持する各支持プレート13a,13b の部分で、それらが相対向する端面部の一方側にマグネット15を取付けると共に、他方側に磁性板14bを取付け、前記一対のフィンガ4a,4b をウェハキャリアCのフランジ5の下方に入り込ませて相互に接近させたときに、前記マグネット15と前記磁性板14bとを磁気吸引力で相互に吸引させる。

請求項（抜粋）：

天井に取付けられたレールに吊り下げ状態で走行する天井搬送車に昇降可能にして取付けられ、ほぼ水平に接近・離隔される一対のフィンガが、ウェハキャリアのフランジの下方に入り込んで、前記ウェハキャリアを吊り下げ支持するためのグリッパ装置において、前記一対のフィンガが接近されたときに、一対のフィンガを支持する各支持部が、吸引手段によって相互に吸引されることを特徴とする天井搬送車におけるグリッパ装置。

IPC (2件)：

B66C 1/42 , B25J 15/08

FI (2件)：

B66C 1/42 F , B25J 15/08 C

Fターム (29件)：

3C007DS01 , 3C007ES03 , 3C007ES09 , 3C007ET08 , 3C007EU01 , 3C007EV05 , 3C007EV06 , 3C007EV07 , 3C007FS06 , 3C007HS27 , 3C007NS17 , 3F004AA02 , 3F004AB08 , 3F004AD04 , 3F004AE03 , 3F004AF06 , 3F004EA40 , 3F004HA05 , 3F061AA01 , 3F061BA03 , 3F061BA09 , 3F061BB08 , 3F061BC01 , 3F061BD04 , 3F061BE05 , 3F061BE06 , 3F061BE12 , 3F061CA06 , 3F061DB06

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平1-209242
物品固定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-089436 出願人：花王株式会社

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