特許

J-GLOBAL ID：200903048905704689

レジスト乾燥装置

発明者： 新山 喜三郎
出願人/特許権者： 東京化工機株式会社
代理人 (1件)： 合志 元延
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-106113
公開番号（公開出願番号）：特開平7-289972
出願日： 1994年04月21日
公開日（公表日）： 1995年11月07日
要約：

【要約】【目的】 第1に、プリント配線基板のわん曲,カール,腰折れ状態が防止され、もって、乾燥が確実に行えるようになり、第2に、プリント配線基板の接触による傷等も防止でき、第3に、しかもこれらが簡単な構成により、容易かつ自動的,連続的に実現される、レジスト乾燥装置を提案する。【構成】 このレジスト乾燥装置Aは、ロールコーター1にてプリント配線基板Pに塗布された液状の感光性レジストBを、乾燥,硬化させる。そしてこのレジスト乾燥装置Aは、熱風が循環される乾燥炉2と、乾燥炉2内等でプリント配線基板Pをチャッキング手段3にて保持しつつ順次搬送するコンベヤ4と、コンベヤ4に対し少なくとも乾燥炉2への搬入段階では水平の軸で回動可能に取付けられ、所定の横姿勢W,縦の回動変位姿勢X,縦姿勢Z等を取り、開閉可能な構造のチャッキング手段3と、を有してなる。

請求項（抜粋）：

プリント配線基板の製造工程で用いられ、ロールコーターにて該プリント配線基板の外表面に転写,塗布された液状の感光性レジストを、乾燥,硬化させるレジスト乾燥装置であって、熱風が吹き出されて循環される乾燥炉と、該乾燥炉内等で該プリント配線基板をチャッキング手段にて保持しつつ順次搬送するコンベヤと、該コンベヤに少なくとも該乾燥炉への搬入段階では水平の軸で回動可能に取付けられ、開閉可能な構造の該チャッキング手段と、を有してなり、該チャッキング手段は、前記ロールコーター間から水平状態で搬出される該プリント配線基板の端部に対向位置し、開閉によりこれを保持可能な横姿勢と、前記ロールコーター間から完全に搬出された該プリント配線基板の端部を保持しつつ徐々に下に変位し、これを下へ90度回動させる縦の回動変位姿勢と、そのまま該プリント配線基板の上端部を保持し、これを該コンベヤの搬送方向に対し直角かつ縦に吊り下げた状態で該乾燥炉内を搬送せしめる縦姿勢とに、姿勢を順次変化可能となっていること、を特徴とするレジスト乾燥装置。

IPC (7件)：

B05C 9/14 ,  B05C 1/02 102 ,  F26B 15/00 ,  G03F 7/16 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/28