回転処理装置、基板位置決め装置、および基板位置決め方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：吉田茂明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310969
公開番号（公開出願番号）：特開平9-148413
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：

【要約】【課題】基板を回転させることなく基板の存在位置を確認して位置合わせする。【解決手段】回転可能なスピンチャック12を静止させた状態で、ウェハ11を進行方向に所定単位寸法ごとに進行させつつ、進行方向と直交する方向のウェハ11の端縁位置を順次検出し、前回に検出した端縁位置とこれに後続して検出した端縁位置との大小関係について順次比較を行い、比較の結果が増大傾向から減少傾向に転じたときの端縁位置をウェハ11の中心位置として認識し、これに基づいてウェハ11を位置合わせする。

請求項（抜粋）：

基板を回転可能に保持するための保持手段を有した回転処理器と、前記基板を支持しつつ所定の進行方向に進行しながら前記保持手段に搬送する搬送手段と、前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を検出する位置検出器と、前記位置検出器での検出結果に基づいて前記搬送手段を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、静止する前記保持手段に対して前記基板を所定の精度で位置合わせするよう制御するプリティーチング部と、前記プリティーチング部での位置合わせ後において前記保持手段を回転させつつ前記基板の中心を前記保持手段の回転中心に合わせるよう制御するメインティーチング部と、を備え、前記プリティーチング部は、前記搬送手段の前記進行方向への進行を指示する進行指示手段と、前記搬送手段の進行に応じて前記位置検出器で得られた前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置を順次読み込む読込指示手段と、前記読込指示手段で読み込んだ前記進行方向と直交する方向の前記基板の端縁位置のうち最も外側に位置する端縁位置を検出し、当該最も外側に位置する端縁位置の前記進行方向の座標を前記基板の中心位置に対応する位置座標として認識する中心対応位置検出手段と、前記中心対応位置検出手段により検出した前記基板の前記中心位置に対応する位置座標に基づいて、前記基板の中心を前記保持手段の回転中心に対応させるよう前記搬送手段の前記進行方向の移動を指示する駆動制御手段と、を備える回転処理装置。

IPC (6件)：

H01L 21/68 , B23Q 17/24 , G01B 11/00 , G01B 21/00 , G02F 1/13 101 , H01L 21/027

FI (11件)：

H01L 21/68 F , H01L 21/68 A , B23Q 17/24 C , G01B 11/00 C , G01B 21/00 F , G01B 21/00 A , G02F 1/13 101 , H01L 21/30 502 J , H01L 21/30 564 C , H01L 21/30 569 C , H01L 21/30 577

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