特許
J-GLOBAL ID：200903048917438275
磁気式加速度センサ及び加速度検知装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058998
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258449
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 高感度で温度特性に優れ、小型・軽量化が可能な磁気式加速度センサを提供する。【解決手段】 検出用磁石10は、板バネ12により、その磁化方向Mに沿った一方向と逆方向に変位可能に支持され、加速度に応じて前記一方向と逆方向に変位する。磁石10の変位による磁界変化を検出する強磁性体の薄膜からなる磁気インピーダンス素子14が磁石10の側部近傍に設けられる。素子14は、磁石10の側部近傍において、磁石10の変位がゼロであるときのN極とS極を結ぶ線分の中点を含み、且つ磁石10の磁化方向Mに対し概ね垂直な面の位置で、磁界検出方向が磁石10の磁化方向Mに対して垂直になるように配置されている。また、素子14に対して交流バイアス磁界を印加するためのコイル18が設けられている。
請求項（抜粋）：
加速度に応じて変位する検出用磁石と、該磁石の変位による磁界変化を検出する磁界検出素子を有する磁気式加速度センサにおいて、前記検出用磁石は、該磁石の磁化方向に沿った一方向と逆方向に変位可能に支持され、前記磁界検出素子は、前記検出用磁石の側部近傍において磁界検出方向が該磁石の磁化方向に対して垂直になるように配置されたことを特徴とする磁気式加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01P 15/08 C
, G01P 21/00
