特許

J-GLOBAL ID：200903048926973388

検査装置

発明者： 重信 安志
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-336585
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139524
出願日： 2001年11月01日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：

【要約】【課題】被検査体の背景の外乱光の影響を十分に抑制する。【解決手段】カメラ14は、透明フィルム11を撮影する。画像処理装置15は、透明フィルム11の画像に基づいて、透明フィルム11の色むらや傷等の欠陥を検査する。照明装置13から光吸収面17へと入射した光の殆どを該光吸収面17で吸収し、かつ照明装置13からの光の一部を遮蔽板18により遮って、余分な光が光吸収面17で反射されてカメラ14に入射することを阻止している。これにより、カメラ14に入射する外乱光のレベルが二重に抑制され、カメラ14からの画像信号に含まれるノイズのレベルを十分に抑制することができ、透明フィルム11の検査精度を向上させることができる。

請求項（抜粋）：

光を被検査体に照射する光源と、被検査体からの反射光を受光する光検出手段とを備えており、光検出手段の検出出力に基づいて、被検査体を検査する検査装置において、光検出手段側から見て被検査体の背景となる光吸収面と、光源からの光の一部が光吸収面で反射されて光検出手段で受光されない様に、該光の一部を遮る遮蔽体とを備えることを特徴とする検査装置。

IPC (2件)：

G01B 11/30 ,  G01N 21/892

FI (2件)：

G01B 11/30 Z ,  G01N 21/892 A

Fターム (31件)：

2F065AA49 ,  2F065AA60 ,  2F065BB22 ,  2F065CC02 ,  2F065DD11 ,  2F065FF04 ,  2F065FF41 ,  2F065GG03 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL28 ,  2F065MM03 ,  2F065PP16 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065UU07 ,  2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051EA12 ,  2G051EA17 ,  2G051EA23 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01