特許
J-GLOBAL ID：200903048937761226
ウェーハ表面検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-154672
公開番号（公開出願番号）：特開平11-003921
出願日： 1997年06月12日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 小型化が実現され、ダスト発生を低減させたウェーハ表面検査装置を提供する。【解決手段】 検査対象ウェーハを5載置するためのウェーハセット部と、前記ウェーハを移載、搬送するための移載部と、前記ウェーハ表面のマクロ検査を行なうためのマクロ検査部と、前記ウェーハ表面のミクロ検査を行なうためのミクロ検査部とを備えたウェーハ表面検査装置において、本発明によれば、移動可能なXYステージ1上に、前記ウェーハ5を傾斜させると共に回転させることが可能な傾斜・回転機構2を配設して前記ミクロ検査部でのミクロ検査と前記マクロ検査部でのマクロ検査を同一ステージ1,2上で行なえるようにした。
請求項（抜粋）：
検査対象ウェーハを載置するためのウェーハセット部と、前記ウェーハを移載、搬送するための移載部と、前記ウェーハ表面のマクロ検査を行なうためのマクロ検査部と、前記ウェーハ表面のミクロ検査を行なうためのミクロ検査部とを備えたウェーハ表面検査装置において、移動可能なミクロ検査用のステージ上に、前記ウェーハを傾斜させると共に回転させることが可能な傾斜・回転機構を配設して前記ミクロ検査部でのミクロ検査と前記マクロ検査部でのマクロ検査を同一ステージ上で行なえるようにしたことを特徴とするウェーハ表面検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/66 J
, H01L 21/68 K
