特許

J-GLOBAL ID：200903048939114384

着色感光性樹脂組成物、フォトマスク作製材料、フォトマスク及びその製造方法

発明者： 高柳 丘
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (4件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳 ,  西元 勝一 ,  福田 浩志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-096826
公開番号（公開出願番号）：特開2005-283914
出願日： 2004年03月29日
公開日（公表日）： 2005年10月13日
要約：

【課題】 着色感光性樹脂組成物が適用される基材をシランカップリング処理しないでも、解像度に優れた微細パターンを形成可能な着色感光性樹脂組成物を提供することにあり、さらに、解像度に優れたフォトマスクを作製可能なフォトマスク作製材料、フォトマスク及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 i)架橋可能なアルカリ可溶性樹脂バインダー、ii)少なくとも1個の重合可能な不飽和結合を有するモノマー又はオリゴマー、iii)405nm以上の長波長領域の光に感光性を有する光重合開始系、iv)着色材、及びv)シランカップリング剤を含む着色感光性樹脂組成物、光透過性の基材の上に、前記着色感光性樹脂組成物を用いて形成される遮光層形成層を設けたフォトマスク作製材料、前記フォトマスク作製材料の遮光層形成層を露光現像して遮光層を形成したフォトマスク及びフォトマスク作製材料の遮光層形成層を露光しその後現像して遮光層を形成する、フォトマスクの製造方法。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

i)架橋可能なアルカリ可溶性樹脂バインダー、ii)少なくとも1個の重合可能な不飽和結合を有するモノマー又はオリゴマー、iii)405nm以上の長波長領域の光に感光性を有する光重合開始系、iv)着色材、及びv)シランカップリング剤を含む着色感光性樹脂組成物。

IPC (4件)：

G03F7/075 ,  G03F1/08 ,  G03F7/004 ,  H01L21/027

FI (4件)：

G03F7/075 501 ,  G03F1/08 J ,  G03F7/004 505 ,  H01L21/30 502P

Fターム (23件)：

2H025AA02 ,  2H025AA14 ,  2H025AB08 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC53 ,  2H025BC85 ,  2H025CA00 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CC06 ,  2H025CC12 ,  2H025DA01 ,  2H025DA04 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H095BB08 ,  2H095BB27 ,  2H095BC06 ,  2H095BC24

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 移動機
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-376327   出願人：中山慶三
• 特開昭52-62427号公報(27頁右上欄から同頁右下欄の実施例9)
  
• 特開昭55-100544号公報