特許

J-GLOBAL ID：200903048942969412

高温測定用プローブカード及びそれに用いられるマザーボード

発明者： 大久保 昌男 ,  吉光 康良
出願人/特許権者： 日本電子材料株式会社
代理人 (1件)： 大西 孝治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-114727
公開番号（公開出願番号）：特開平7-294555
出願日： 1994年04月28日
公開日（公表日）： 1995年11月10日
要約：

【要約】【目的】 高温測定に使用してもプローブカードの先端の位置がずれず、しかも室温での測定をも行うことができるようにする。【構成】 加熱状態にある測定対象物であるICチップの電気的諸特性を測定する高温測定に用いられる高温測定用プローブカードであって、開口110が設けられたマザーボード100と、マザーボード100の縁部を固定するホルダー200と、開口110の周囲に取り付けられるリング300と、リング300に取り付けられて開口110に臨む複数本のプローブ400とを備えており、開口110とリング300とには、プローブ400の配置の障害にならない部分であるコーナー部にマザーボード100の縁部に向かった切込112が形成されている。

請求項（抜粋）：

加熱状態にある測定対象物の電気的諸特性を測定する高温測定に用いられる高温測定用プローブカードにおいて、開口が設けられたマザーボードと、このマザーボードの縁部を固定するホルダーと、前記開口の周囲に取り付けられるリングと、このリングに取り付けられて前記開口に臨む複数本のプローブとを具備しており、少なくとも前記開口には、プローブの配置の障害にならない部分にマザーボードの縁部に向かった切込が形成されていることを特徴とする高温測定用プローブカード。

IPC (4件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  G01R 31/28 ,  H01L 21/66