特許

J-GLOBAL ID：200903048964447380

超微粒子の製造方法及び装置

発明者： 勝俣 惠子 ,  山本 高義
出願人/特許権者： スタンレー電気株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-148272
公開番号（公開出願番号）：特開2002-336686
出願日： 2001年05月17日
公開日（公表日）： 2002年11月26日
要約：

【要約】【課題】従来の超微粒子製造装置では蒸発し、拡散した材料が、真空槽内の内壁に付着し凝結してしまう割合が大きく回収率は20%以下であった。内壁に付着し凝結した製品を真空槽の上部に設けた回収手段に凝結した製品とを一緒にして使うことは製品の純度の上で問題があった。【解決手段】るつぼの周囲にノズルを設け、且つ真空槽の上部に設けた回収手段の周囲に排気用吸出口を設け、ノズルから吸出口までの間に不活性ガスの流れを作り、蒸発し横方向や斜め上方に拡散した材料が不活性ガスの流れで跳ね返されて、真空槽の上部に設けた回収手段に向かうようにさせ、回収手段での回収率を80%を超えるようにした超微粒子製造装置により課題を解決した。

請求項（抜粋）：

真空槽内のるつぼに材料を置き、るつぼ全体を加熱して該材料を蒸発させて、該真空槽内の上部に冷却部を伴って設けた回収手段に凝結させる超微粒子の製造方法において、該るつぼの周囲に気体の噴出口を設け、該真空槽の該気体の噴出口に対向する場所に該気体の吸出口を設け該気体を流しながら該材料を加熱することを特徴とする超微粒子の製造方法

IPC (3件)：

B01J 19/00 ,  B01J 3/00 ,  B22F 9/02

FI (3件)：

B01J 19/00 N ,  B01J 3/00 J ,  B22F 9/02 Z

Fターム (18件)：

4G075AA27 ,  4G075BB02 ,  4G075BD04 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EB13 ,  4G075EC01 ,  4K017AA01 ,  4K017CA01 ,  4K017DA01 ,  4K017DA02 ,  4K017DA09 ,  4K017EG01 ,  4K017EG04 ,  4K017FA02 ,  4K017FA03