特許
J-GLOBAL ID:200903048965607070

マイクロレンズアレイの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柏木 明 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-004427
公開番号(公開出願番号):特開平11-202103
出願日: 1998年01月13日
公開日(公表日): 1999年07月30日
要約:
【要約】【課題】 発光素子アレイに一体に積層されて放射角を狭化させるためのレンズであってレンズ・発光素子間の距離に対してレンズ厚さが厚いレンズの形成に適したマイクロレンズアレイの製造方法を提供する。【解決手段】 発光素子アレイ4が形成された発光素子基板1上に透明樹脂層5,6を形成し、透明樹脂層6に各発光素子2に対応する位置に凸状(又は凹状)の段差7を形成し、段差7が形成された透明樹脂層5,6を加熱することで各段差7部分を非球面性の高いレンズ形状に変形させてマイクロレンズアレイを一体に形成する。ここに、透明樹脂層6の膜厚を制御することで、段差7の厚さ、従って、レンズ厚さを容易に制御でき、比較的厚めとすることができる。
請求項(抜粋):
発光素子アレイが形成された発光素子基板上に一体に積層されて各発光素子からの放射光の放射角を狭化させるためのマイクロレンズアレイの製造方法であって、発光素子基板上に透明樹脂層を形成し、この透明樹脂層に各発光素子の位置に対応させて凸状又は凹状の段差を形成し、段差が形成された透明樹脂層を加熱して各段差部分をレンズ形状に変形させるようにしたことを特徴とするマイクロレンズアレイの製造方法。
IPC (8件):
G02B 3/00 ,  B29D 11/00 ,  B41J 2/44 ,  B41J 2/45 ,  B41J 2/455 ,  H01L 33/00 ,  H01S 3/18 ,  H04N 1/036
FI (6件):
G02B 3/00 A ,  B29D 11/00 ,  H01L 33/00 M ,  H01S 3/18 ,  H04N 1/036 A ,  B41J 3/21 L

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