特許

J-GLOBAL ID：200903048972352924

シミ欠陥の検出方法及び装置

発明者： 野田 正明 ,  小島 広一 ,  市川 裕也
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 小林 久夫 ,  佐々木 宗治 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-015107
公開番号（公開出願番号）：特開2004-226272
出願日： 2003年01月23日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】コントラストの低い、あるいはサイズの小さい欠陥に対しても高い検出力を有するとともに、シミ欠陥として検出するための閾値を検出画像内の輝度統計データに基づいて自動的に決定し、さらに検出されたシミ欠陥の定量評価を可能にしたシミ欠陥の検出方法及びその検出装置を提供する。【解決手段】検査対象の画面をCCDカメラ6により撮像し、撮像により取り込まれた画像から、予め作成しておいた背景画像14との差をとり検査画像15を作成し、検査画像の平坦化処理を行い、平坦化画像16から複数段階の縮小画像を作成し、縮小画像のそれぞれに対して欠陥強調のためのフィルタ処理を行い、フィルタ処理後における画像17内の各画素の輝度値の統計データを計算し、その輝度統計データに基づいて閾値を決定し欠陥候補の有無を判断し、前記閾値を用いて欠陥候補有りと判断された画像から欠陥候補を抽出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

検査対象の画面を撮像する工程と、 撮像により取り込まれた画像から、予め作成しておいた背景画像との差をとり検査画像を作成する工程と、 前記検査画像の平坦化処理を行う工程と、 前記平坦化画像から複数段階の縮小画像を作成する工程と、 前記縮小画像のそれぞれに対して欠陥強調のためのフィルタ処理を行う工程と、 前記フィルタ処理後における画像内の各画素の輝度値の統計データを計算する工程と、 その輝度統計データに基づいて閾値を決定し欠陥候補の有無を判断する工程と、 前記閾値を用いて欠陥候補有りと判断された画像から欠陥候補を抽出する工程と、 を有することを特徴とするシミ欠陥の検出方法。

IPC (4件)：

G01N21/88 ,  G01M11/00 ,  G06T1/00 ,  G06T5/20

FI (4件)：

G01N21/88 Z ,  G01M11/00 T ,  G06T1/00 305A ,  G06T5/20 B

Fターム (39件)：

2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051CA04 ,  2G051DA13 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051EC05 ,  2G051ED14 ,  2G051ED15 ,  2G051ED22 ,  2G086EE10 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA30 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CD10 ,  5B057CE03 ,  5B057CE05 ,  5B057CE08 ,  5B057CH04 ,  5B057CH09 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB05 ,  5B057DB09 ,  5B057DC23 ,  5B057DC32