特許
J-GLOBAL ID:200903048978658162
自動清掃装置
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
木内 光春
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-269244
公開番号(公開出願番号):特開平5-103737
出願日: 1991年10月17日
公開日(公表日): 1993年04月27日
要約:
【要約】【目的】 クリーンルーム内の塵埃集積箇所であるコーナー部の清掃を自動的に行うことにより、コーナー部の塵埃を完全に除去することができ、クリーンルームの清浄度を高い状態で維持できる自動清掃装置を提供することである。【構成】 パネル1を巾木5を介して床面4に固定する。この巾木5側面には吸込孔8を設ける。パネル1内部に吸込孔8と接続して真空配管3を配設し、点状部の真空配管を介して、中央集塵装置12に接続し、真空ポンプ13により吸引除塵する。この様な自動清掃装置により、コーナー部に塵埃が集積することがなくなり、クリーンルームの高い清浄度が維持される。
請求項(抜粋):
クリーンルーム内の壁面と床面により構成されるコーナー部の清掃を自動的に行う自動清掃装置において、クリーンルーム内側の壁面下部に通気自在に設けられた吸込孔と、吸込孔に接続される真空配管と、真空配管に接続される吸引装置と、吸引装置による吸引力を制御する調節手段と、を有することを特徴とする自動清掃装置。
IPC (3件):
A47L 5/38
, E04H 5/02
, F24F 7/06
引用特許:
審査官引用 (4件)
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特開平1-215350
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特開平3-037070
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特開昭61-202028
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